هناك عمومًا عمليتان معالجة لغاز النفايات في صناعة زيت السيليكون
RTO الاحتراق الحراري التجديديوطريقة الرش + امتصاص الكربون المنشط. يشتمل جهاز معالجة غاز العادم على فاصل غاز سائل ، ومكثف عميق ، وبرج غسل الحمض ، وبرج غسل قلوي ، ومرشح جاف ، وفرن احتراق الحفاز RTO ومداخن العادم.