آخر هو طريقة الطور الغاز - ، طريقة ترسب البخار الكيميائي (CAV) ، والمعروفة أيضًا باسم طريقة الانحلال الحراري ، أو طريقة الجفاف أو طريقة الاحتراق. موادها الخام هي عمومًا رباعي كلوريد السيليكون ، الأكسجين (أو الهواء) والهيدروجين ، الذي يتفاعل في درجات حرارة عالية.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >Sio 2+4 hcl. يتعرض الهواء والهيدروجين على التوالي للضغط والفصل والتبريد والجفاف وتجفيف هلام السيليكا وإزالة الغبار والترشيح قبل إرساله إلى فرن التحلل المائي الاصطناعي. بعد إرسال المادة الخام من رباعي كلوريد السيليكون إلى عمود التقطير للتقطير ، يتم تسخينه وتبخره في المبخر ، ثم يتم إرساله إلى فرن التحلل المائي الاصطناعي مع الهواء الجاف والمرشح كحامل. يتم تبخير رباعي كلوريد السيليكون في درجات حرارة عالية (درجة حرارة اللهب 1000 - 1800 درجة) ثم يخضع للحيوانات المائية الغاز - مع كمية معينة من الهيدروجين والأكسجين (أو الهواء) في حوالي 1800 درجة. في هذه المرحلة ، تكون جزيئات السيليكا التي يتم إنشاؤها في مرحلة الغاز جيدة للغاية وتشكل الهباء الجوي مع الغازات ، والتي يصعب التقاطها.
لذلك ، يتم تجميعها لأول مرة في جزيئات أكبر في مجمع ، ثم يتم جمعها بواسطة فاصل الإعصار ، وإرسالها إلى فرن إزالة الإلغاء. يتم غسل السيليكا المرحلة الغاز - باستخدام النيتروجين - الذي يحتوي على الهواء حتى تكون قيمة الرقم الهيدروجيني 4 إلى 6 ، وهو المنتج النهائي